اندازه گیری ضخامت لایه های نازک با استفاده از پراش فرنل

thesis
abstract

ضخامت لایه های نازک از جمله مهمترین پارامترهای مرتبط با لایه های نازک است ،چراکه تقریباً تمامی خواص آنها را می توان با دانستن ضخامت ، بدست آورد.روشهای اپتیکی و غیر اپتیکی بسیاری برای اندازه گیری ضخامت ابداع شده و مورد استفاده قرار می گیرند.در این تحقیق روش اندازه گیری ضخامت با استفاده از پراش فرنل در بازتاب مورد بررسی قرار گرفته است.نشان داده شده که استفاده از رفتار نمایانی فریزهای حاصل از پراش از یک لایه نازک که به شکل پله ایجاد شده ،ما را قادر می سازد تا با دقت چند نانومتر مستقیماٌ ضخامت لایه را بدست آوریم.دراین مطالعه از دوطول موج 532 و633 نانومتر به عنوان منبع نوری استفاده شد و با استفاده از آنها تعدادی از لایه های نازک فلزی پله ای شکل را که ضخامت آنها بین 30 تا 500 نانومتر بود را مورد مطالعه قرار دادیم.نتایج حاصل در هر دو طول موج از همخوانی بسیار خوبی برخوردار بودو برای حصول اطمینان این نتایج را با نتایج بدست آمده از یک روش دیگر مقایسه نمودیم که این بار نیز نتایج دو روش همپوشانی مطلوبی دارند.با توجه به نتایج این تحقیق به نظر می رسد که استفاده از پراش فرنل برای اندازه گیری ضخامت لایه های نازک به دلایلی نظیر آسان بودن،دقیق بودن ، کارآمدی در گستره وسیعی از ضخامتها(از چند نانومتر تا چند صد نانومتر)و... قابلیت کاربرد گسترده در صنعت لایه های نازک را دارد.

First 15 pages

Signup for downloading 15 first pages

Already have an account?login

similar resources

اندازه گیری ضخامت شکست لایه های نازک

در این رساله نخست تاریخچه تهیه لایه نازک ، چگونگی تهیه و روشهای مختلف همچنین شرایط لایه گذاری ذکر گردیده سپس چگونگی آماده سازی زیر لایه و شرایط لازم برای لایه نشانی آمده است . در ادامه راههای مختلف اندازه گیری ضخامت و همچنین دقت روشهای مختلف اندازه گیری بیان شده است . در قسمت کارهای عملی و تحقیقات انجام شده سیستمهای لایه گذاری مورد استفاده به همراه شمای اپتیکی دستگاه نشان داده شده است . در این ...

15 صفحه اول

اندازه گیری تغییرات فاز در محیط با استفاده از پراش فرنل از پله های فازی

وقتی قسمتی از یک باریکه تکفام همدوس در اثر بازتاب از یک پله فازی و یا عبور از یک محیط فازی دچار تغییر ناگهانی در فاز شود، پراش فرنل مشاهده می شود. در این رساله پراش فرنل از پله های فازی متغیر مورد بررسی قرار گرفته و توزیع شدت مربوط به آن استخراج شده است. نمایانی فریزهای پراش در مطالعه خواص اپتیکی محیط، مانند ضریب شکست بکار برده شده است و ضرایب شکست جامدات و مایعات با دقت نسبی ??^(-?) اندازه گیر...

15 صفحه اول

اندازه گیری تجربی ضخامت لایه های فلزی نازک با استفاده از تحریک امواج سطحی

ضخامت یکی از مهمترین پارامترهای مربوط به یک لایه نازک است که خواص مختلف لایه به آن مربوط می شود. روش-های مختلفی برای اندازه گیری ضخامت لایه نازک فلزی وجود دارد. ما در این پایان نامه با استفاده از تحریک پلاسمون های سطحی با ضخامت لایه فلزی را اندازه گیری کردیم. تحریک نوری ساده ترین راه برای مشاهده پلاسمون های سطحی در سطح فلز می باشد. تحریک می تواند با استفاده از کوپلاژ منشور با دو آرایش آتو و همک...

15 صفحه اول

اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی

بر اساس روش متعارف تداخل نوری، با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی، ضخامت لایه نازک به دست می آید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامت های کم و کاهش خطاهای اندازه گیری، نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله، رسم می شود. با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی، امکان اندازه گیری ضخامت لایه های نازک از مرتبه چند نانومتر فراهم می شود. همچنین با بهره گیری از جابه جایی نمودار شدت ...

full text

اندازه گیری پویش آزاد میانگین الکترون در لایه های نازک ni و چند لایه ایهای نازک ni/cu از طریق مطالعه بستگی مقاومت الکتریکی به ضخامت لایه ها

در این کار ضمن ارایه یک مدل ریاضی برای محاسبه مقاومت ویژه لایه های نازک, تغییرات مقاومت الکتریکی ویژه بر حسب ضخامت برای تک لایه ایهای نازک ni و چند لایه ایهای نازک ni/cu مورد مطالعه قرار گرفت. لایه ها به روش الکتروانباشت از یک محلول الکترولیت شامل یونهای ni و cu رشد یافتند. ضخامت لایه ها از 200 تا 2000نانومتر تغییر داده شد. نقش پراش پرتوایکس (xrd) تعدادی از لایه های نازک ni/cu بیانگر ساختار چند...

full text

پراش فرنل از پله در بازتاب و عبور

  In this paper Fresnel diffraction of light from 1-dimensional and circular steps in reflection and transmission modes is theoretically and experimentally studied. The study shows that the diffraction pattern from each side of a step resembles the diffraction pattern from a semi infinite obstacle, but the visibility of fringes is a sensitive periodic function of the step height and the inciden...

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


document type: thesis

موزه جانورشناسی دانشگاه تهران

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023